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超音波探触子
专利权人:
株式会社日立製作所
发明人:
田中 宏樹,東 隆,福田 宏
申请号:
JP2007540890
公开号:
JP4909279B2
申请日:
2006.08.02
申请国别(地区):
JP
年份:
2012
代理人:
摘要:
Air gap (4, ultrasonic transducer according to the present invention (100) includes a substrate (1) having a first electrode inside or on the surface thereof, the diaphragm having a second electrode inside or on the surface thereof and (5) you are disposed via a). And, on the surface or inside of the electrode of the second diaphragm or (5), I have provided a beam of one (7) at least.本発明に係る超音波トランスデューサ(100)は、その内部または表面に第1の電極を有する基板(1)と、その内部または表面に第2の電極を有するダイヤフラム(5)とを、空隙(4)を介して配置している。そして、ダイヤフラム(5)または第2の電極の表面または内部に、少なくとも1つの梁(7)を具備している。
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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