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激光散斑干涉测量方法及装置
- 专利权人:
- 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 发明人:
- 王希军
- 申请号：
- CN200410010857.8
- 公开号：
- CN100552431C
- 申请日:
- 2004.05.12
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2009
- 代理人:
- 陶遵新
- 摘要：
- 本发明涉及一种用激光测量纳米微粒的方法及装置，麦克尔逊激光干涉光路上放置激光器1、分光板2、空间位相扫描板3、被测样品4、位相扫描反射镜5、CCD相机6，调整好麦克尔逊激光干涉光路，在被测样品表面形态变化过程中，利用空间位相扫描板和位相扫描反射镜实时记录被测样品表面立体位相信息，在CCD相机中形成横向剪切激光散斑干涉图像，通过图像采集卡存储进计算机。再利用统计相关理论和细分技术对图像进行处理。本发明提供能够测量立体位相信息、扩大信息量、提高横向测量精度、扩大应用范围的激光散斑干涉测量方法及装置。它不仅能够应用于纳米微粒的动态行为表征，还可以作为微电子、微光学元件及半导体制造等领域的检测手段。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
