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SCANNING LENS SYSTEM AND METHODS OF REDUCING REACTION FORCES THEREIN
专利权人:
AMO DEVELOPMENT; LLC.
发明人:
HEITEL, Robert, G.
申请号:
USUS2013/066668
公开号:
WO2014/066671A1
申请日:
2013.10.24
申请国别(地区):
WO
年份:
2014
代理人:
摘要:
A scanning lens component (40) includes a primary (44) and transverse (46)axis stages and motors (70,148). The primary axis motor (70) includes a first coil (72) moving along the primary axis (52) in the first direction (56) along with the primary axis stage (44) and a first magnet (74) configured to move in a second, opposite direction, in response to movement of the first coil (72) a first distance that exceeds a threshold primary axis distance. The transverse axis stage (46) is adjacent and coupled to the primary axis stage (44) and moves along a transverse axis (116) in a third direction (117). The transverse axis motor (148) includes a second coil (154) for moving along the transverse axis (116) in the third direction (117) with the transverse axis stage (46), and a second magnet (156) configured to move in a fourth (119), opposite direction, in response to movement of the second coil (154) along the transverse axis (116) in the third direction (117) a second distance that exceeds a threshold transverse axis distance.La présente invention concerne un composant de lentille de balayage (40) comprenant des platines daxe primaire (44) et transversal (46) et des moteurs (70, 148). Le moteur daxe primaire (70) comprend une première bobine (72) qui se déplace le long de laxe primaire (52) dans la première direction (56) avec la platine daxe primaire (44) et un premier aimant (74) conçu pour se déplacer dans une seconde direction, opposée, en réaction au mouvement de la première bobine (72) dune première distance qui dépasse une distance daxe primaire seuil. La platine daxe transversal (46) est adjacente et couplée à la platine daxe primaire (44) et se déplace le long dun axe transversal (116) dans une troisième direction (117). Le moteur daxe transversal (148) comprend une seconde bobine (154) pour le déplacement le long de laxe transversal (116) dans la troisième direction (117) avec la platine daxe transversal (46), et un second aimant (156) conçu pour se déplacer d
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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