检测设备、检测系统和用于生产检测设备的方法
- 专利权人:
- 佳能株式会社
- 发明人:
- 藤吉健太郎,渡边实,横山启吾,大藤将人,川锅润,和山弘
- 申请号：
- CN201310460126.2
- 公开号：
- CN103715212A
- 申请日:
- 2013.09.30
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明涉及检测设备、检测系统和用于生产检测设备的方法。一种检测设备包括多个转换元件、层间绝缘层和覆盖层。多个转换元件中的每一个都包括电连接到多个开关元件中的一个对应开关元件的电极和设置在所述电极上的半导体层。层间绝缘层被设置为覆盖多个开关元件并由有机材料构成，并且具有包括第一区域和位于第一区域之外的第二区域的表面。电极被设置在第一区域中的层间绝缘层的表面上。覆盖层被设置在第二区域中的层间绝缘层的表面上并由无机材料构成。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
