一种基于自生长电镀的实心微针制备方法
- 专利权人:
- 南昌工程学院
- 发明人:
- 闫肖肖,唐刚,徐斌,邓小珍,李志彪,文红民
- 申请号：
- CN201611067203.8
- 公开号：
- CN106621021A
- 申请日:
- 2016.11.29
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 一种基于自生长电镀的实心微针制备方法，其制备方法采用涂胶、光刻、电镀等微加工工艺制备。首先硅晶圆片上溅射电镀种子层，然后旋涂光刻胶，接着光刻以显影出自生长电镀微针的微方块及针尖块，然后去除光刻胶及不需要的种子层，最后通过电镀的方法使得微方块及针尖块连接为一体形成所需微针。整个制备工艺简单，制备的微针可根据微方块大小及间距调整，适应性广。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
