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プラズマ生成装置、該装置を用いたプラズマ生成方法、基板処理方法、一酸化窒素生成方法
专利权人:
プラズマ スルギカル インベストメントス リミテッド
发明人:
ニコライ ススロブ
申请号:
JP2010519339
公开号:
JP5436424B2
申请日:
2007.08.06
申请国别(地区):
JP
年份:
2014
代理人:
摘要:
Apparatus and method for generating a plasma stream of pulsed truly is disclosed. Device forms a plasma channel which includes a cathode assembly comprising a cathode holder and a cathode, an anode, and an intermediate two or more electrodes, the intermediate electrode and the anode extends towards the anode. Intermediate electrode which is closest to the cathode to form a plasma chamber around the cathode tip. Extension nozzle which forms an extension channel with a tubular insulation along at least a portion of the inner surface is attached to the anode end of the device. In operation, a voltage is applied between the cathode and the anode, cathode, plasma, and is passed through the anode current. Current profile and the voltage profile is selected to cause rapid generation of the plasma flow with the required characteristics. Power density distribution of temperature and a substantially uniform plasma pulses can be realized in the nozzle extension. In addition, there is that ozone is generated in the extension nozzle during the generation of the plasma pulse. [Selection Figure Figure 2A真にパルス状のプラズマ流を生成する装置および方法が開示される。装置は、カソードおよびカソードホルダーを備えるカソード組立体と、アノードと、2つ以上の中間電極とを含み、アノードおよび中間電極がアノードの方へ広がるプラズマチャンネルを形成する。カソードに最も接近した中間電極はカソード先端部の周りにプラズマチャンバを形成する。内面の少なくとも一部分に沿って管状絶縁体を有する延長チャンネルを形成する延長ノズルは装置のアノード端部に取り付けられる。動作中に、電圧がカソードとアノードとの間に印加され、電流がカソード、プラズマ、および、アノードを通過させられる。電圧プロファイルおよび電流プロファイルは、所要の特性をもつプラズマ流の急速な発生を引き起こすように選択される。プラズマパルスの実質的に一様な温度および電力密度分布が延長ノズルの中で実現される。さらに、オゾンがプラズマパルスの生成中に延長ノズルの中に生成されることがある。【選択図】図2A
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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