PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic sensor, a measuring device and a measurement system, detecting the position of a detection object with a simple configuration.SOLUTION: A probe 10 includes: a substrate 11 four or more ultrasonic arrays 12 provided on the substrate surface and a delay control unit for controlling the transmission angle of ultrasonic waves transmitted from the ultrasonic arrays 12. The ultrasonic array 12 includes: a one-dimensional array structure where a plurality of ultrasonic vibrators capable of transmitting ultrasonic waves are arranged along the linear scanning direction A. The delay control unit controls the transmission angle of ultrasonic waves transmitted from the ultrasonic arrays 12 by delaying the timing of transmitting ultrasonic waves from the respective ultrasonic elements. The respective ultrasonic arrays 12 are made different in linear scanning direction A and also arranged at spaces from each other.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】簡単な構成で被検出物の位置を検出できる超音波センサー、測定装置、および測定システムを提供する。【解決手段】プローブ10は、基板11と、基板面に設けられた4つ以上の超音波アレイ12と、超音波アレイ12から発信される超音波の発信角度を制御する遅延制御部と、を具備し、超音波アレイ12は、超音波を発信可能な超音波振動子が、走査直線方向Aに沿って複数配設された1次元アレイ構造を備え、遅延制御部は、各超音波素子から超音波を発信するタイミングを遅延させて、超音波アレイ12から発信される超音波の発信角度を制御する。そいて、各超音波アレイ12は、それぞれ走査直線方向Aが異ならせて、かつ、互いに離間した位置に配設された。【選択図】図3
