PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a beam scanning irradiator achieving drastic reduction of an irradiation time.SOLUTION: The beam scanning irradiator includes: a scanner electromagnet device 2 wherein a set of deflection electromagnets 2a, 2b deflecting a charged particle beam 9 in a uniaxial direction are fixed to a structure 2c a motor 3 rotating the scanner electromagnet device 2 around rotational axis 12 perpendicular to the uniaxial direction scanner electromagnet power supplies 6, 7 controlling the set of deflection electromagnets 2a, 2b a motor rotational speed controller 8 controlling rotation of the motor 3 and a control instruction transmission device 5 transmitting control data pdata2-4 to the motor 3, the scanner electromagnet power supplies 6, 7, and the motor rotational speed controller 8. The control instruction transmission device 5 transmits the control data pdata2-4 for changing excitation amounts of the set of deflection electromagnets while rotating the scanner electromagnet device 2 at a prescribed speed.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】照射時間の大幅な短縮を実現するビームスキャニング照射装置を得ることを目的とする。【解決手段】荷電粒子ビーム9を一軸方向に偏向する1組の偏向電磁石2a、2bが構造体2cに固定されたスキャナ電磁石装置2と、スキャナ電磁石装置2を一軸方向に垂直な回転軸12を中心に回転させるモータ3と、1組の偏向電磁石2a、2bを制御するスキャナ電磁石電源6、7と、モータ3の回転を制御するモータ回転速度制御装置8と、モータ3、スキャナ電磁石電源6、7及びモータ回転速度制御装置8に制御データpdata2~4を送信する制御指令送信装置5とを備える。制御指令送信装置5は、スキャナ電磁石装置2を所定の速度で回転させながら、1組の偏向電磁石の励磁量を変更する制御データpdata2~4を送信する。【選択図】図1
