The invention provides novel apparatus and methods for efficiently and accurately filling vials with gaseous materials such as a fluorinated gas, with or without concomitantly filling the vials with another liquid or solid material.L'invention concerne un nouvel appareil et des nouveaux procédés permettant de remplir de manière efficace et précise des flacons avec des matériaux gazeux tels qu'un gaz fluoré, avec ou sans remplissage simultané des flacons avec un autre matériau liquide ou solide.