卷式电镀收膜装置
- 专利权人:
- 铜陵丰山三佳微电子有限公司
- 发明人:
- 王友明,管华良,朱宝才,苏民民
- 申请号：
- CN201310447735.4
- 公开号：
- CN103466359A
- 申请日:
- 2013.09.27
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2013
- 代理人:
- 莫祚平
- 摘要：
- 本发明公开了一种卷式电镀收膜装置，该装置包括张力器（3）、用于固定张力器（3）的机座（4）及驱动张力器（3）转动的驱动装置，所述的张力器（3）固定在机座（4）上，所述的驱动装置与张力器（3）传动联接，驱动张力器（3）转动。本发明能够快速在收膜结束后将废膜与辊轴分离，大大提高了工作效率。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
