卷式电镀收膜装置
- 专利权人:
- 铜陵丰山三佳微电子有限公司
- 发明人:
- 王友明,管华良,朱宝才,苏民民
- 申请号:
- CN201320600360.6
- 公开号:
- CN203474012U
- 申请日:
- 2013.09.27
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2014
- 代理人:
- 莫祚平
- 摘要:
- 实用新型公开了一种卷式电镀收膜装置,该装置包括张力器(3)、用于固定张力器(3)的机座(4)及驱动张力器(3)转动的驱动装置,所述的张力器(3)固定在机座(4)上,所述的驱动装置与张力器(3)传动联接,驱动张力器(3)转动。本实用新型能够快速在收膜结束后将废膜与辊轴分离,大大提高了工作效率。
- 来源网站:
- 中国工程科技知识中心