한국과학기술원;KOREA ADVANCED INSTITUTE OF SCIENCE AND TECHNOLOGY
发明人:
이승섭,정지훈,LEE SEUNGSEOB,JEONG JI HUN
申请号：
KR1020200057167
公开号：
KR1020200055699A
申请日:
2020.05.13
申请国别(地区):
KR
年份:
2020
代理人:
摘要：
The present invention relates to a method for manufacturing a mold for manufacturing a micro-nozzle array, and in detail, a method for manufacturing a mold for manufacturing a micro-nozzle array of a polymer material in which a plurality of micro-nozzles are arranged on a base, comprising: a) the micro on a substrate Forming a photoresist patterning corresponding to the nozzle array； b) filling a metal portion of the photoresist patterning； c) removing residual photoresist between the filled metals； d) after depositing the photoresist on the substrate, patterning the photoresist so that holes are formed between the filled metal； e) filling a metal hole between the filled metals； And f) removing the residual photoresist.본 발명은 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법에 관한 것으로, 상세하게는, 베이스 상에 복수의 마이크로 노즐이 배열된 고분자 재질의 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법에 있어서, a) 기판 상에 상기 마이크로 노즐 어레이에 대응하는 감광제 패터닝을 형성하는 단계； b) 감광제 패터닝의 요부에 금속을 충진하는 단계； c) 충진된 금속 사이의 잔여 감광제를 제거하는 단계； d) 기판 상에 감광제를 증착한 후, 충진된 금속 사이에 홀이 형성되도록 감광제를 패터닝하는 단계； e) 상기 충진된 금속 사이의 홀에 금속을 충진하는 단계； 및 f) 잔여 감광제를 제거하는 단계；를 포함하는, 마이크로 노즐 어레이 제조용 금형의 제조 방법에 관한 것이다.
