A method of decontaminating a device comprising dispersing a decontamination fluid as a vapor into a decontamination chamber containing a device to be decontaminated, the decontamination fluid containing peracetic acid and water controlling a dispersion rate of the decontamination fluid such that the environment within the decontamination chamber is below 45% relative humidity throughout a decontamination cycle defined from when the device is placed in the decontamination chamber to when the device is removed from the decontamination chamber, wherein the decontamination cycle achieves a sterility assurance level of at least 10 to the minus three.La présente invention concerne un procédé de décontamination dun dispositif comprenant la dispersion dun fluide de décontamination sous forme de vapeur dans une chambre de décontamination contenant un dispositif à décontaminer, le fluide de décontamination contenant de lacide peracétique et de leau la régulation dau taux de dispersion du fluide de décontamination de sorte que lenvironnement à lintérieur de la chambre de décontamination soit inférieure à 45 % dhumidité relative tout au long dun cycle de décontamination défini du moment auquel le dispositif est placé dans la chambre de décontamination au moment auquel le dispositif est retiré de la chambre de décontamination, le cycle de décontamination permettant dobtenir un niveau dassurance de stérilité dau moins 10 à moins trois.