Vacuum sterilization process with the application of vapour of a mixture of peracetic acid with hydrogen peroxide and residual gas plasma from atmospheric air, excited by pulsed electrical discharge; operational devices and methods used in the sterilization process, preferably a process of sterilization in vacuum, dry, and at low temperature (room temperature).과산화수소 및 과산화아세트산의 혼합물 증기와 펄스 전기 방전에 의해 여기되고(excited) 대기 공기로부터 나오는 잔류 가스 플라즈마의 적용이 있는 진공멸균공정; 멸균공정에서 사용되는 작업 장치 및 방법, 바람직하게는 진공, 건조, 및 저온(상온)에서의 멸균공정.