A microdelivery device (100) is disclosed. The apparatus comprises a substrate (112), a rigid shell (114), a diaphragm (106), a cannula (118), an electrode (108), and an electronic device chamber (110). The substrate (112) has a first side (1122) and a second side (1124). The second side (1124) faces the first side (1122). The hard shell (114) is disposed on a first side (1122) of the substrate (112). The chamber (103) is formed by the hard shell (114) and the substrate (112). A diaphragm (106) is configured within the chamber (103) to divide the chamber (103) into an upper reservoir (102) and a lower reservoir (104). A cannula (118) extends through the rigid shell (114) and is in fluid communication with the upper reservoir (102). The electrode (108) is disposed on a first side (1122) of the substrate (112). The electronic device chamber (110) is electrically connected to the electrode (108).マイクロ送達装置（１００）を開示する。該装置は、基板（１１２）、硬質のシェル（１１４）、ダイヤフラム（１０６）、カニューレ（１１８）、電極（１０８）、及び電子デバイスチャンバ（１１０）を備える。基板（１１２）は、第１側面（１１２２）及び第２側面（１１２４）を有する。第２側面（１１２４）は、第１側面（１１２２）に対向する。硬質シェル（１１４）は、基板（１１２）の第１側面（１１２２）に配置される。チャンバ（１０３）は、硬質シェル（１１４）及び基板（１１２）によって形成される。ダイヤフラム（１０６）は、チャンバ（１０３）を上部リザーバ（１０２）と下部リザーバ（１０４）に分割するために、チャンバ（１０３）内に構成される。カニューレ（１１８）は、硬質シェル（１１４）を貫通し、上部リザーバ（１０２）と流体連通している。電極（１０８）は、基板（１１２）の第１側面（１１２２）に配置される。電子デバイスチャンバ（１１０）は、電極（１０８）に電気的に接続している。
