High frequency CMUT

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专利权人:

テキサス インスツルメンツ インコーポレイテッド;日本テキサス・インスツルメンツ株式会社

发明人:

スティーブン アドラー,ピーター ジョンソン,アイラ オークトゥリー ワイガント

申请号：

JP2015501818

公开号：

JP6144752B2

申请日:

2013.03.15

申请国别(地区):

JP

年份:

2017

代理人:

摘要：

A high-frequency capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) has a silicon membrane and an overlying metal silicide layer that together form a conductive structure which can vibrate over a cavity. The CMUT also has a metal structure that touches a group of conductive structures. The metal structure has an opening that extends completely through the metal structure to expose the conductive structure.

来源网站：

中国工程科技知识中心

来源网址：

http://www.ckcest.cn/home/