Gregor MORFILL,Yangfang LI,Tetsuji SHIMIZU,Bernd STEFFES
申请号：
MX2018001456
公开号：
MX2018001456A
申请日:
2016.07.25
申请国别(地区):
MX
年份:
2018
代理人:
摘要：
The invention relates to an apparatus (1) for producing a plasma, having at least one first electrode (3), at least one second electrode (5), which is arranged at a distance from the first electrode (3), a voltage source (7), which is connected to at least one electrode (3, 59) selected from the first electrode (3) and the second electrode (5) such that a potential difference between the at least one first electrode (3) and the at least one second electrode (5) can be produced by the voltage source (7), wherein the at least one first electrode (3) and the at least one second electrode (5) define at least one discharge path (9) for an electrical discharge in a discharge region (11) between the at least one first electrode (3) and the at least one second electrode (5). In this case, a magnetic field device (15) is provided that is set up, and arranged relative to the at least one first electrode (3) and the at least one second electrode (5), to provide a magnetic field in the discharge region (11), so that a magnetic field vector (B) of the magnetic field is oriented at an angle to the discharge path (9).La presente invención se relaciona con un dispositivo (1) para la producción de un plasma, teniendo al menos un primer electrodo (3), al menos un segundo electrodo (5) que está dispuesto a una distancia del primer electrodo (3), una fuente de voltaje (7) que está conectada con al menos un electrodo (3, 5) seleccionado del primer electrodo (3) y del segundo electrodo (5) de manera tal que se puede producir una diferencia de potencial entre el al menos único primer electrodo (3) y el al menos único segundo electrodo (5) por la fuente de voltaje (7), y el al menos único primer electrodo (3) y el al menos único segundo electrodo (5) definen al menos una ruta de descarga (9) para una descarga eléctrica en una región de descarga (11) entre el al menos único primer electrodo (3) y el al menos único segundo electrodo (5). Se provee también una instalación de campo magnético (
