An optical imaging system (12) is to be aligned with its optical axis (16) in relation to a given alignment axis (14). For this, a radiation beam (30) is emitted from one side of the imaging system (12) along the alignment axis (14). In a direction of beam propagation, there are located behind the imaging system (12) a pair of diaphragm elements (24, 26), whose apertures are each covered by a piece of material transparent to the radiation, having a plurality of sensor elements arranged in a matrix. The sensor elements furnish information about the measured radiation intensity to a signal processing unit (42), which can graphically illustrate the current alignment status of the imaging system (12) on a monitor (44) and / or produce an automatic adjustment of the imaging system (12).COPYRIGHT KIPO 2015광학 이미징 시스템(12)은 주어진 정렬 축(14)에 관하여 그의 광학 축(16)이 정렬될 것이다. 이를 위해, 방사선 빔(30)은 이미징 시스템(12)의 한 측으로부터 정렬 축(14)을 따라 방사된다. 빔 전파 방향으로, 이미징 시스템(12) 뒤쪽에 한 쌍의 격판 엘리먼트들(24, 26)이 위치되고, 상기 한 쌍의 격판 엘리먼트들(24, 26)의 애퍼처들은 각각 방사선에 투과성인 재료의 피스에 의해 커버되고, 매트릭스로 배열된 복수의 센서 엘리먼트들을 보유한다. 센서 엘리먼트들은 모니터(44) 상에 이미징 시스템(12)의 현재 정렬 상태를 그래픽으로 도시하고 및/또는 이미징 시스템(12)의 자동 조정을 생성할 수 있는 측정된 방사선 강도에 관한 정보를 신호 프로세싱 유닛(42)에 공급한다.
