PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a vacuum cooling device preventing the efficiency of vacuum cooling from deteriorating when condensate condensed from steam of vacuum piping 9 and accumulated in a drain tank 6 evaporates again and air discharged by a vacuum generating device 1 becomes large in volume.SOLUTION: The vacuum cooling device includes: a processing tank 2 containing an object to be cooled the vacuum generating device 1 connected to the processing tank 2 through the vacuum piping 9 for sucking air in the processing tank a first heat exchanger 4 cooling the air in the middle of suction from the processing tank 2 by the vacuum generating device 1 and the drain tank 6 accumulating the condensate generated by cooling the air in the first heat exchanger 4, and cools the object to be cooled by vacuumizing the inside of the processing tank. In the vacuum cooling device, a second heat exchanger 5 is provided on the route connecting the drain tank 6 to the vacuum generating device 1 for cooling steam generated in the drain tank 6.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】真空冷却装置において、真空配管9の蒸気を凝縮させてドレンタンク6にためておいたドレンが再蒸発し、真空発生装置1が排出する空気の体積が大きくなることで真空冷却の効率が低下してしまうことを防止する。【解決手段】被冷却物を収容する処理槽2、処理槽2と真空配管9によって接続しており処理槽内の空気を吸引する真空発生装置1、真空発生装置1が処理槽2から吸引している空気を途中で冷却する第一熱交換器4、第一熱交換器4で空気を冷却することによって発生したドレンをためるドレンタンク6を持ち、処理槽内を真空化することで被冷却物の冷却を行う真空冷却装置において、前記のドレンタンク6と真空発生装置1をつなぐルート上にドレンタンク6で発生した蒸気を冷却する第二熱交換器5を設ける。【選択図】図1
