Carl Zeiss Industrielle Messtechnik GmbH;Bayerische Motoren Werke Aktiengesellschaft
发明人:
Karsten Hage,Ralf Benninger
申请号：
DE102014117186
公开号：
DE102014117186A1
申请日:
2014.11.24
申请国别(地区):
DE
年份:
2016
代理人:
摘要：
Beschrieben wird eine Prüfanlage (1) mit einer Messkammer (2), in welcher in einem Prüfobjektbereich (OB) ein zu prüfendes Prüfobjekt (O) positionierbar ist, einer Strahlenquellenkammer (3) mit einer darin angeordneten Strahlenquelle (4), wobei die Strahlenquellenkammer (3) über eine Strahlengangöffnung (6) mit der Messkammer (2) verbunden ist, und einer Detektoreinrichtung (5), welche so angeordnet ist, dass sich der Prüfobjektbereich (OB) zwischen der Strahlenquelle (4) und der Detektoreinrichtung (5) befindet. Die Messkammer (2) weist ein Messkammergehäuse (10, 10‘, 10‘‘) mit einem Zugriffsbereich (ZB) zum Be- und Entladen des Prüfobjekts (O), welcher sich zumindest an zwei gegenüberliegenden Seiten (12, 13) des Messkammergehäuses (10) erstreckt, und zumindest eine Messkammerverschlusseinrichtung (15, 15‘, 15‘‘) zum Verschließen des Zugriffsbereichs (ZB) auf. Die Messkammerverschlusseinrichtung (15, 15‘, 15‘‘) und ein Strahlengangverschlusselement (16, 16‘, 26) sind so ausgebildet und/oder miteinander gekoppelt, dass bei einem Verstellen der Messkammerverschlusseinrichtung (15, 15‘, 15‘‘) aus einer Verschlussstellung (II, II‘, II‘‘) in Richtung einer Öffnungsstellung (I, I‘, I‘‘) die Strahlengangöffnung (6) vom Strahlengangverschlusselement (16, 16‘, 26) verschlossen ist, bevor der Zugriffsbereich (ZB) geöffnet wird. Außerdem wird ein entsprechendes Verfahren zu Prüfung eines Prüfobjekts (O) beschrieben.A test system (1) with a measuring chamber (2) is described, in which a test object (O) to be tested can be positioned in a test object area (OB), a radiation source chamber (3) with a radiation source (4) arranged therein, wherein the radiation source chamber (FIG. 3) via a beam path opening (6) with the measuring chamber (2) is connected, and a detector device (5) which is arranged so that the Prüfobjektbereich (OB) between the radiation source (4) and the detector device (5). The measuring chamber (2) has a measuring chamber housing (10, 10 ', 10' ') with a
