The method involves performing a cold plasma sterilization operation from non germicide gas and/or cold plasma deposit operation of a barrier diffusion layer. Cold plasma delivers a maximum non thermal energy on a set of inner surfaces of a bottle (2) to be processed. The sterilization and deposit operations are performed with a single device. The cold plasma is generated by a microwave generator (4) or by a hollow anode system. The plasma comprises a gas chosen among nitrogen, oxygen, nitrogen dioxide, hydrogen, water, argon, helium, Krypton, Xenon or their mixtures. Independent claims are also included for the following: (1) a surface wave lancer type device for generation of cold plasma (2) a hollow cathode type cold plasma generator device.본 발명은 비살균성 기체에 의한 저온 플라즈마 살균 작업 및/또는 확산 장벽층의 저온 플라즈마 증착 작업을 포함하는 플라스틱 병의 처리 방법에 관한 것으로, 상기 방법은 상기 저온 플라즈마가 조정가능한 비열성 에너지를 병의 전체 내부 표면에 전달하고, 상기 저온 플라즈마는 상기 표면에 인접해서 최대 강도를 갖는 마이크로파의 분산 전파를 통해, 또는 병에 대해 개조되고 펄스형 DC 및/또는 RF 전압을 공급받는 할로우 캐소드 시스템에 의해 생성되는 것을 특징으로 한다. 본 발명은 또한 상기 방법을 수행하기 위한 장치에 관한 것이다.