The present invention relates to a thin film transistor, comprising: a first electrode of a conductive metal thin film； A second electrode which is a ground electrode； A flexible dielectric layer that is an insulator positioned between the first electrode and the second electrode； And an inner plasma functional layer positioned between the dielectric layer and the second electrode, wherein the first electrode and the second electrode are electrically connected to an external power source to generate an atmospheric plasma to generate active species To a flexible active species generator. The flexible active species generator according to the present invention has a function of generating an active species generated in an atmospheric plasma and an inner plasmatic function capable of preventing deformation and decomposition of an insulator generated by the plasma, thereby improving durability and safety, It has the advantage of being applicable to the type of article or food, clothing and human body.본 발명은 전도성 금속 박막의 제1전극； 접지전극인 제2전극； 상기 제1전극 및 상기 제2전극 사이에 위치한 절연체인 가요성 유전체층； 및 상기 유전체층과 상기 제2전극 사이에 위치한 내플라즈마 기능성층을 포함하고, 상기 제1전극과 상기 제2전극은 외부전원에 전기적으로 접속되어 대기압 플라즈마를 생성하여 활성종을 발생시키는 것을 특징으로 하는 플렉서블 활성종 발생기에 관한 것이다. 상기 본 발명에 따른 플렉서블 활성종 발생기는 대기압 플라즈마에서 발생되는 활성종 발생기능 이외에 플라즈마에 의해 발생되는 절연체의 변형 및 분해를 방지할 수 있는 내플라즈마성 기능이 구현되어 내구성 및 안전성이 개선되어, 다양한 형태의 물품 또는 식품, 의류 및 인체에 적용이 가능한 이점이 있다.
