Systems and methods of operation for capacitive high frequency microelectromechanical switches, such as CMUT cells for ultrasonic systems, are disclosed. The RFMEMS may include a substrate, a first electrode connected to the substrate, a membrane, and a second electrode connected to the membrane. In some examples, there is a dielectric stack between the first electrode and the second electrode and flexible membrane. The dielectric stack design minimizes drift in membrane collapse voltage. In another example, one of the electrodes is in the shape of a ring and the third electrode is provided so as to occupy the central space of the ring. Alternatively, the first electrode and the second electrode are both in the shape of a ring, with the support between the electrodes inside the ring.超音波システム用のＣＭＵＴセルなどの容量性高周波微小電気機械スイッチのためのシステム及び動作方法が開示される。ＲＦＭＥＭＳは、基板と、基板に接続された第１の電極と、メンブレンと、メンブレンに接続された第２の電極とを含み得る。いくつかの例では、第１の電極と、第２の電極及び可撓性メンブレンとの間に誘電体スタックがある。誘電体スタックデザインは、メンブレン崩潰電圧におけるドリフトを最小化する。他の例では、電極の一方がリングの形状であり、第３の電極がリングの中央の空間を占めるように設けられる。代替として、第１の電極及び第２の電極が両方ともリングの形状であり、リングの内側の電極間に支持体がある。
