一种具有多环境适应性的薄膜材料的制备技术
- 专利权人:
- 中国科学院兰州化学物理研究所
- 发明人:
- 陈建敏,吴艳霞,吉利,李红轩,冶银平,周惠娣
- 申请号：
- CN201310273979.5
- 公开号：
- CN104278241A
- 申请日:
- 2013.07.02
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 方晓佳
- 摘要：
- 本发明公开一种具有多环境适应性的二硫化钼/含氢非晶碳多层薄膜材料的制备技术。采用MoS2/a-C:H多层结构的设计，并利用反应非平衡磁控溅射技术制备。制备方法简便，而且制备的薄膜结构致密，避免了贯穿膜层的空洞缺陷；同时硬质a-C:H膜层提高了薄膜的承载能力，软质MoS2膜层提高了薄膜的润滑性能，从而提高了薄膜的多环境适应性。MoS2/a-C:H多层薄膜在真空、空气、氮气环境中均具有良好的摩擦学性能，可以用作空间润滑材料在载人航天飞船、星际探测器、人造卫星等众多领域得到应用。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
