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DISPOSITIF DE MESURE ET DISPOSITIF DE MONTAGE DE SUBSTRAT
专利权人:
KUBOTA CORPORATION;株式会社クボタ
发明人:
KURODA Tadahiro,黒田忠宏,MORIMOTO Susumu,森本進,TONARI Mayuko,戸成麻祐子,TAKEUCHI Ryuichi,竹内隆一,SOE Masao,添正夫
申请号:
JPJP2018/022434
公开号:
WO2019/239489A1
申请日:
2018.06.12
申请国别(地区):
JP
年份:
2019
代理人:
摘要:
Provided is a measuring device that can suppress the effect of dust on spectroscopic detection. This measuring device is provided with: a light source that irradiates a measurement object with light; a cooling fan that generates cooling air for cooling the light source; and a spectroscope that splits and detects reflected light from the measurement object, and that is arranged in circulation paths through which the cooling air flows. In addition, the measuring device is provided with a case that accommodates the light source and the spectroscope, and a light-receiving section that allows the reflected light to be transmitted into the case. The spectroscope has an incident part on which the reflected light that has passed through the light-receiving part is incident. The cooling fan preferably generates cooling air that can be circulated toward the incident part side of the spectroscope.La présente invention concerne un dispositif de mesure qui peut supprimer l'effet de la poussière sur une détection spectroscopique. Ce dispositif de mesure est pourvu : d'une source de lumière qui expose un objet de mesure à de la lumière ; d'un ventilateur de refroidissement qui génère de l'air de refroidissement destiné à refroidir la source de lumière ; et d'un spectroscope qui divise et détecte la lumière réfléchie par l'objet de mesure, et qui est agencé dans des trajets de circulation à travers lesquels circule l'air de refroidissement. De plus, le dispositif de mesure est pourvu d'un boîtier qui reçoit la source de lumière et le spectroscope, et d'une section de réception de lumière qui permet à la lumière réfléchie d'être transmise dans le boîtier. Le spectroscope comporte une partie incidente sur laquelle la lumière réfléchie qui a traversé la partie de réception de lumière est incidente. Le ventilateur de refroidissement génère de préférence de l'air de refroidissement qui peut être mis en circulation vers le côté de la partie incidente du spectroscope.塵埃が分光器の検出に及ぼす影響を抑制するこ
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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