LEIBNIZ-INSTITUT FUER PLASMAFORSCHUNG UND TECHNOLOGIE E.V.;Leibniz-Institut für Plasmaforschung und Technologie e.V.
发明人:
KINDEL, ECKHARD,LEMBKE, NORBERT,STIEBER, MANFRED,TITZE, RUEDIGER,WELTMANN, KLAUS-DIETER,HELLWIG, LUTZ
申请号：
EP10771669.8
公开号：
EP2462785A1
申请日:
2010.07.31
申请国别(地区):
EP
年份:
2012
代理人:
摘要：
Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung zur Erzeugung eines kalten, HF-angeregten Plasmas unter Atmosphärendruckbedingungen, umfassend ein im Bereich des austretenden Plasmas als geerdete Elektrode fungierendes Metallgehäuse, in dem ein HF-Generator, eine HF-Resonanzspule mit einem, für die Hochfrequenz geeigneten geschlossenen Ferritkern, ein als Gasdüse fungierender Isolierkörper sowie eine in dem Isolierkörper gehalterte Hochspannungs-Elektrode in der Weise angeordnet sind, dass sie vom Prozessgas um- bzw. durchströmt werden. In einer bevorzugten Ausführungsform umfasst die Vorrichtung eine elektrisch leitende abnehmbare Kappe, die im vorderen Bereich einen Schlitz oder ein Loch aufweist. Die Erfindung kann vorteilhaft für die Plasmabehandlung von Materialien für kosmetische und medizinische Zwecke eingesetzt werden. Die Erfindung ermöglicht es, durch die Integration von Plasmadüse und erforderlicher Ansteuerelektronik in einem miniaturisierten Handgerät oder durch eine Verwendung eines kurzen Hochspannungskabels, eine Einhaltung der Richtlinien der elektromagnetischen Verträglichkeit (EMV) zu gewährleisten und die Verlustleistung zu minimieren und damit einen mobilen Einsatz zu realisieren.A device for generating a cold, HF-excited plasma under atmospheric pressure conditions can be used advantageously for plasma treatment of materials for cosmetic and medical purposes. The device contains a metal housing functioning as a grounded electrode in the region of the emergent plasma, wherein an HF generator, an HF resonance coil having a closed ferrite core suitable for the high frequency, an insulating body acting as a gas nozzle, and a high-voltage electrode mounted in the insulating body are disposed in such a manner that they are permeated or circulated around by process gas. By integrating the plasma nozzle and required control electronics in a miniaturized handheld device, or by using a short high-voltage cable, the invention allows compliance with the electroma
