PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a device for detecting position changes of light fluxes which can sensitively detect a change of a position of a light flux even when a change of a position of light incident on a detector is very small.SOLUTION: The device for detecting position changes of a light flux 101 is composed of a detector 102 which has two or more pixels and detects a light irradiation amount of the light flux 101 as a signal value and has calculation means 103 for calculating to detect a position change in which the light flux 101 incident on the two or more pixels changes from a first incident position to a second incident position. The calculation means 103 is configured so as to calculate on the basis of an operation value obtained by multiplying the weighting coefficient S/N2 by I, where S is the amount of change of a signal value in each pixel of the detector 102 which is expected to occur due to the position change N is the standard deviation of signal values detected in each pixel of the detector 102 when the light flux 101 is at the first incident position and I is a signal value detected in each pixel of the detector 102.COPYRIGHT: (C)2012,JPO&INPIT【課題】光束の検出器への入射位置の変化が微小な場合においても感度良く光束の位置の変化を検出することが可能となる光束の位置変化検出装置を提供する。【解決手段】光束101の位置変化検出装置であって、検出装置は、2つ以上の画素を有し、光束101の光照射量を信号値として検出する検出器102によって構成され、検出器102で検出された信号値に基づき、2つ以上の画素に入射する光束101が第1の入射位置から第2の入射位置へ変化する位置変化を検出するための演算を行う演算手段103を備え、演算手段103は、重み付け係数S/N2をIに乗じた演算値に基づいて演算するように構成されている。S:位置変化によって生じると想定される検出器102の各画素における信号値の変化量、N:光束101が第1の入射位置にあるときの検出器102の各画素で検出される信号値の標準偏差、I:検出器102の各画素で検出される信号値【選択図】図1
