PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a uniform capacitance transducer fabricated by a sacrifice layer type, achieving a vibrating membrane with a small spring constance, acquiring further wide-band frequency characteristics and having little variation.SOLUTION: The capacitance transducer includes a cell 11 having a first electrode, and a vibrating membrane including a second electrode provided facing the first electrode via a cavity. Thickness of a part that is located at a periphery of a part 12 formed by sealing an etching opening 210 for use in sacrifice-layer etching for forming the cavity and that is connected to the vibrating membrane is smaller than thickness formed by subtracting the thickness of the second electrode from the thickness of membranes 206, 209, and 211.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】犠牲層型で作製される静電容量型トランスデューサにおいて、ばね定数の小さな振動膜を実現し、より広帯域な周波数特性が得られ、且つばらつきの少ない均一な静電容量型トランスデューサを提供すること。【解決手段】静電容量型トランスデューサは、第一の電極と、第一の電極とキャビティーを介して対向して設けられた第二の電極を含む振動膜と、を有するセル11を備える。キャビティーを形成するための犠牲層エッチングの際に用いたエッチング開口部210が封止された部分12の周りにあって振動膜に繋がった部分の厚みが、メンブレン206、209、211の厚みから第二の電極の厚みを除いた厚みよりも小さい。【選択図】図1
