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ULTRASONIC DEVICE AND ULTRASONIC APPARATUS
专利权人:
SEIKO EPSON CORP;セイコーエプソン株式会社
发明人:
KOJIMA CHIKARA,小島 力
申请号:
JP2016239751
公开号:
JP2018098580A
申请日:
2016.12.09
申请国别(地区):
JP
年份:
2018
代理人:
摘要:
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an ultrasonic device and an ultrasonic apparatus capable of restraining performance deterioration.SOLUTION: An ultrasonic device includes a substrate having first and second grooves in a first side, a diaphragm provided on the first side, and blocking the first and second grooves, a first piezoelectric element provided on the diaphragm and, in a plan view from the thickness direction of the substrate, overlapping the first groove, and a second piezoelectric element provided on the diaphragm and, in the plan view, overlapping the second groove. A third groove coupling the first and second grooves is provided in the substrate, which is further provided with a fourth groove elongating, in the plan view, in a direction separating from the first and second piezoelectric elements, and coupled to the third groove, and a hole coupling the second side of the substrate, opposite to the first side, and the fourth groove.SELECTED DRAWING: Figure 7【課題】性能低下を抑制できる超音波デバイス及び超音波装置を提供することを目的の一つとする。【解決手段】超音波デバイスは、第1面に第1溝部及び第2溝部を有する基板と、第1面に設けられ、第1溝部及び第2溝部を閉塞する振動膜と、振動膜に設けられ、基板の厚み方向から見た平面視において、第1溝部と重なる第1圧電素子と、振動膜に設けられ、平面視において、第2溝部と重なる第2圧電素子と、を備え、基板には、第1溝部及び第2溝部を連結する第3溝部が設けられ、基板には、平面視において、第1圧電素子及び第2圧電素子から離れる方向に延伸し、第3溝部に連結する第4溝部が設けられ、基板の第1面と表裏をなす第2面及び第4溝部を連結する孔部が設けられている。【選択図】図7
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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