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PROCÉDÉ D'INSPECTION DE CAPTEUR D'ONDE D'IMPULSION DE PRESSION, ET PROCÉDÉ DE FABRICATION DE CAPTEUR D'ONDE D'IMPULSION DE PRESSION
专利权人:
OMRON HEALTHCARE CO.; LTD.;OMRON HEALTHCARE CO., LTD.;オムロンヘルスケア株式会社
发明人:
SHIGIHARA Noriko,鴫原教子,KATO Yuki,加藤雄樹,WAKAMIYA Masayuki,若宮祐之,OGURA Toshihiko,小椋敏彦
申请号:
JPJP2016/075435
公开号:
WO2017/043384A1
申请日:
2016.08.31
申请国别(地区):
JP
年份:
2017
代理人:
摘要:
Provided is a method of inspecting a pressure pulse wave sensor with which it is possible to understand the impact that changes in the usage environment have on pressure pulse wave detection accuracy. A sensor chip (10) including a semiconductor substrate (10A) in which a pressure-sensitive element row (10D) is formed in a part of the sensor chip (10) the thickness of which has been reduced by means of a recessed portion (10a), and terminal portions (10B, 10C) which are electrically connected to the pressure-sensitive element row (10D) is adhesively secured to a substrate (11) in such a way that the recessed portion (10a) communicates with the atmosphere only by means of a through-hole (11D) in the substrate (11). Terminal portions (11B, 11C) on the substrate (11) are then connected to the terminal portions (10B, 10C) on the sensor chip (10) by means of wires (W1, W2), after which air is sucked from the through-hole (11D) in order to apply negative pressure to the surface on which the pressure-sensitive element row (10D) is formed, and the characteristics of the sensor chip (10) are evaluated in this state on the basis of signals output from the terminal portions (11B, 11C) on the substrate (11).La présente invention concerne un procédé d'inspection d'un capteur d'onde d'impulsion de pression avec lequel il est possible de comprendre l'impact que des changements dans l'environnement d'utilisation ont sur la précision de détection d'onde d'impulsion de pression. Une puce de capteur (10) comprenant un substrat semi-conducteur (10A) dans lequel une rangée d'éléments sensibles à la pression (10D) est formée dans une partie de la puce de capteur (10) dont l'épaisseur a été réduite au moyen d'une partie évidée (10a), et des parties de borne (10B, 10C) qui sont électriquement connectées à la rangée d'éléments sensibles à la pression (10D) est fixé de manière adhésive à un substrat (11) de telle manière que la partie évidée (10a) communique avec l'atmosphère uniquement au m
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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