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表面形状測定装置
- 专利权人:
- 株式会社ニコン
- 发明人:
- 宮脇 崇
- 申请号：
- JP20160545623
- 公开号：
- JPWO2016031935(A1)
- 申请日:
- 2015.08.27
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 表面形状測定装置ＬＭＳは、距離検出器及び角度検出器が設けられた測定ヘッド（２５）と、被測定物Ｗを移動させるワークステージユニット（１０）と、測定ヘッド（２５）を揺動させるヘッドステージユニット（３０）と、各部の作動を制御する制御部（５０）とを備える。距離検出器の第１プローブ光及び角度検出器の第２プローブ光は、ともに測定面に斜めに入射するように構成される。制御部（５０）は、第１，第２プローブ光の照射位置が測定ラインに沿って移動するように測定ヘッド（２５）及び被測定物Ｗを相体移動させ、距離検出器（２１）により検出された測定面の距離及び角度検出器（２２）により検出された測定面の角度に基づいて測定ラインに沿った測定面の形状を導出する。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
