对用于微电子装置的超纯水传输系统进行灭菌的方法
- 专利权人:
- 三星电子株式会社
- 发明人:
- 金承彦,吴允哲,金秀莲,黄正性
- 申请号：
- CN98105655.5
- 公开号：
- CN1088558C
- 申请日:
- 1998.01.22
- 申请国别(地区):
- 中国
- 年份:
- 2002
- 代理人:
- 王其灏
- 摘要：
- 这里提供了一种由过氧化氢，过乙酸和去离子水混合组成的杀菌组合物，一种用该杀菌组合物和热水对超纯水传输系统进行灭菌的灭菌方法，以及一种用于半导体元件制造过程中的超纯水传输系统，该传输系统是用本发明的杀菌组合物和热水进行灭菌的。对超纯水传输系统进行灭菌的方法所包括的步骤有：用热水对超纯水传输系统的OR-终端过滤器和MB-终端过滤器进行灭菌的步骤(热水灭菌步骤)，以及循环含有杀菌剂的去离子水以对所述超纯水传输系统进行灭菌。(杀菌剂灭菌步骤)。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
