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粒子供给装置及其控制方法和速度决定信息的获取方法
- 专利权人:
- 利卫多株式会社
- 发明人:
- 丸畠和也
- 申请号：
- CN201310467254.X
- 公开号：
- CN103705343B
- 申请日:
- 2013.10.09
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2015
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明提供粒子供给装置及其控制方法和速度决定信息的获取方法。在吸收片制造装置（1）中，包含分别与多个目标粒子密度相对应的第1片部件（91）的输送速度和供给缸（21）的旋转速度之间的多个关系在内的速度决定信息被存储于存储部（72）。然后，基于该速度决定信息以及从输入部（73）输入的目标粒子密度和第1片部件的输送速度，利用控制部决定供给缸的旋转速度。由此，即使在第1片部件的输送速度进行各种改变的情况下，也能够高精度地控制粒子的供给量，以便第1片部件上的粒子的密度成为目标粒子密度。此外，即使在目标粒子密度进行各种改变的情况下，也能够考虑第1片部件的输送速度来高精度地控制粒子的供给量，以便第1片部件上的粒子的密度成为目标粒子密度。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
