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超音波トランスデューサおよびそれを用いた超音波診断装置
专利权人:
HITACHI MEDICAL CORPORATION
发明人:
TAKEZAKI Taiichi,竹崎泰一,MACHIDA Shuntaro,町田俊太郎
申请号:
JPJP2011/073582
公开号:
WO2012/050172A1
申请日:
2011.10.13
申请国别(地区):
WO
年份:
2012
代理人:
摘要:
High transfer sound pressure and high reception sensitivity are realized, and reliability is improved in terms of long term operation, in a capacitive detector-type ultrasonic transducer (CMUT). The ultrasonic transducer, which has a lower electrode (201), a hollow portion (202) that is formed on the lower electrode and surrounded by insulating films (209,208), an upper electrode (205) that is formed on the hollow portion, and a plurality of insulating film projections (204) that are formed in the hollow portion (202), comprises a plurality of rigid members (203) that are formed on the hollow portion, either the lower electrode (201) and/or the upper electrode (205) is disposed in a position that does not overlap with the insulating film projections (204) when viewed from the upper surface by carving out the portion that overlaps with the insulating film projections (204), and the respective rigid members (203) are disposed such that a region is present that overlaps with the insulating film projections (204) when viewed from the upper surface.Selon linvention, un transfert élevé de pression acoustique et une sensibilité élevée de réception sont obtenus, et une fiabilité est améliorée en termes de fonctionnement à long terme, dans un transducteur ultrasonore de type détecteur capacitif (CMUT). Le transducteur ultrasonore, qui a une électrode inférieure (201), une partie creuse (202) qui est formée sur lélectrode inférieure et entourée par des films isolants (209, 208), une électrode supérieure (205) qui est formée sur la partie creuse, et une pluralité de saillies de film isolant (204) qui sont formées dans la partie creuse (202), comprend une pluralité déléments rigides (203) qui sont formés sur la partie creuse, lélectrode inférieure (201) et/ou lélectrode supérieure (205) est disposée dans une position qui ne se chevauche pas avec les saillies de film isolant (204) en vue à partir de la surface supérieure par creusement de la partie qui se chevauche avec les sail
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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