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発光解析装置および故障箇所特定方法
- 专利权人:
- ルネサスエレクトロニクス株式会社
- 发明人:
- 野中 淳平
- 申请号：
- JP20150201050
- 公开号：
- JP2017072542(A)
- 申请日:
- 2015.10.09
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2017
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】検出感度の向上を図ることが可能な発光解析装置を提供する。【解決手段】発光解析装置１は、テストパタンを論理回路に供給するように、直列的に接続され、スキャンチェインを構成する複数のフリップフロップ回路を備えた半導体装置の解析に用いられる。発光解析装置１は、スキャンチェインの長さよりも短く、論理回路における所定ネットを遷移動作させることが可能なテストパタンを生成するテストパタン生成装置３００３と、テストパタン生成装置３００３により生成されたテストパタンを、周期的に、スキャンチェインに印加するテスト装置３００１と、を備える。周期的に印加された、スキャンチェインの長さよりも短いテストパタンに応じた、半導体装置からの光が発光解析装置１によって解析される。【選択図】図３
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
