In the present invention, an interferometer is provided with a diffraction grating, a shield grid, a detector and a scanning unit. The diffraction grating forms a first pattern by diffracting X-rays. The shield grid forms a second pattern by shielding some of the X-rays forming the first pattern. The detector detects the information of the second pattern by detecting the X-rays from the shield grid. The scanning unit changes the relative location between a measurement range in which information on an inspection subject can be acquired and the inspection subject, the measurement range being a part of the inspection range of the detector. The detector acquires a first detection result by carrying out a first detection when the measurement range and the inspection subject have a first relative location. The detector acquires a second detection result by carrying out second detection when the measurement range and the inspection subject have a second relative location. The scanning unit changes the relative location between the measurement range and the inspection subject so that the first detection result pattern and the second detection result pattern have continuity.La présente invention concerne un interféromètre doté dun réseau à diffraction, dune grille de protection, dun détecteur et dun système tomographique. Le réseau à diffraction forme un premier motif par diffraction de rayons X. La grille de protection forme un second motif en faisant écran à certains des rayons X formant le premier motif. Le détecteur détecte les informations du second motif en détectant les rayons X issus de la grille de protection. Le système tomogaphique modifie la position relative entre une plage de mesures dans laquelle les informations sur un sujet à examiner peuvent être acquises et le sujet à examiner, la plage de mesures faisant partie de la plage de contrôle du détecteur. Le détecteur acquiert un premier résultat de détection en effectuant une première détection lorsque la plage
