Bei einem Verfahren zur Beschichtung einer, insbesondere mikrostrukturierten, Oberfläche (44) eines aus unterschiedlichen Werkstoffen, insbesondere Glas und Silizium, bestehenden Bauteils (55), bei dem zunächst die Oberfläche (44) aktiviert und anschließend beschichtet wird, wird zur Aktivierung der Oberfläche (44) eine oxidierende Lösung, eine basische Lösung oder eine sauer-oxidierende Lösung verwendet.The invention relates to a method for coating a surface (44), in particular a micro-structured surface, of a component (55) comprising different materials, in particular glass and silicon, wherein first the surface (44) is activated and then coated, wherein an oxidizing solution, a base solution or an acid-oxidizing solution is used to activate the surface (44).Linvention concerne un procédé de revêtement dune surface (44), présentant notamment une microstructure, dun composant (55) constitué de différents matériaux, notamment de verre et de silicium, procédé selon lequel la surface (44) est dabord activée avant dêtre revêtue. Selon linvention, la surface (44) est activée au moyen dune solution oxydante, basique ou acide oxydante.