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粉末コーティング装置及びその使用方法
专利权人:
株式会社フルヤ金属
发明人:
丸子 智弘,地主 啓一郎,伊藤 あみ子
申请号:
JP20160167247
公开号:
JP2017031509(A)
申请日:
2016.08.29
申请国别(地区):
日本
年份:
2017
代理人:
摘要:
【課題】本発明は、成膜するときに粉末の表面を均す機構を有する粉末コーティング装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る粉末コーティング装置は、バレル3と、バレル内を真空引きする排気手段4と、バレル内に設置されたスパッタリング装置2と、を有し、バレルは、主軸Cが水平方向を向いており、かつ、主軸Cを中心に回転し、スパッタリング装置は、バレルに入れられた粉末7の表面にコーティング膜を形成する粉末コーティング装置100において、粉末上昇抑制部品13と、粉末の均し部品9と、を有し、粉末上昇抑制部品の位置は、粉末上昇抑制部品がスパッタリング装置を支持している部分に連結することによって、固定されている。【選択図】図1
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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