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粉末コーティング装置及びその使用方法
- 专利权人:
- 株式会社フルヤ金属
- 发明人:
- 丸子 智弘,地主 啓一郎,伊藤 あみ子
- 申请号：
- JP20160167351
- 公开号：
- JP2018035384(A)
- 申请日:
- 2016.08.29
- 申请国别(地区):
- 日本
- 年份:
- 2018
- 代理人:
- 摘要：
- 【課題】本発明は、成膜するときに粉末の表面を均す機構を有する粉末コーティング装置を提供することを目的とする。【解決手段】本発明に係る粉末コーティング装置１００は、バレル３と、バレル内を真空引きする排気手段４と、バレル内に設置され、少なくとも１つのターゲット６を有するスパッタリング装置２と、を有する。バレルは、主軸Ｃが水平方向を向いており、かつ、主軸Ｃを中心に回転する。スパッタリング装置は、バレルに入れられた粉末７の表面にコーティング膜を形成する。粉末コーティング装置１００は、さらに、粉末上昇抑制部品１３と粉末の均し部品９を有する。粉末上昇抑制部品１３は、スパッタリング装置のうちターゲット自体及びターゲットと導通している部分のどちらにも該当しない箇所に連結されることによって、
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
- 来源网址：
- http://www.ckcest.cn/home/
