PROBLEM TO BE SOLVED: To have a simple configuration, and achieve imaging of a test object accommodating to multiwavelength while performing a highly accurate aberration correction.SOLUTION: The imaging device measures aberration of light having a first polarization component and a first wavelength, of return light from a test object to which measurement light is applied controls a first spatial light modulator that corrects the aberration of the light having the first polarization component and the first wavelength, of the return light, to accommodate to the first wavelength on the basis of the measured aberration controls a second spatial light modulator that corrects the aberration of light having a second polarization component and a second wavelength that are different from the first polarization component and the first wavelength, of the return light, to accommodate to the second wavelength on the basis of the measured aberration and forms an image of the test object using the light with the aberration corrected by the second spatial light modulator.COPYRIGHT: (C)2014,JPO&INPIT【課題】簡易な構成で、高精度な収差補正を行いつつ、多波長に適応した被検査物の撮像を実現する。【解決手段】撮像装置は、測定光を照射した被検査物からの戻り光のうち第一の偏光成分および第一の波長を有する光の収差を測定し、戻り光のうち第一の偏光成分および第一の波長を有する光の収差を補正するための第一の空間光変調器を、測定された収差に基づいて前記第一の波長に対応するように制御し、戻り光のうち第一の偏光成分および第一の波長とは異なる第二の偏光成分および第二の波長を有する光の収差を補正する第二の空間光変調器を、測定された収差に基づいて第二の波長に対応するように制御し、第二の空間光変調器により補正された収差の光を用いて、被検査物の画像を形成する。【選択図】 図1
