PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a new technology to calibrate an optical interference measurement device in a space-saving manner.SOLUTION: An optical interference measurement device includes an interference optical system for dividing the light from a light source into a reference light and a measurement light, irradiating the measurement light onto an object, creating an interference light between the return light thereof and the reference light, and detecting the created interference light. The optical interference measurement device includes an optical path dividing member, a first reference light path length changing part, a calibration amount calculation part, and a data generation part. The optical path dividing member guides the reference light to a first reference light path and a second reference light path. The first reference light path length changing part changes the length of a variable reference light path which is at least one of the first reference light path and the second reference light path. The calibration amount calculation part acquires an amount of calibration on the light source based on first detection data generated after the length of the variable reference light path is changed, and second detection data generated before the length of the variable reference light path is changed. The data generation part generates data on the object based on the detection result of the interference light and the amount of calibration.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2017,JPO&INPIT【課題】省スペースで光干渉計測装置を校正するための新たな技術を提供する。【解決手段】光干渉計測装置は、光源からの光を参照光と測定光とに分割し、測定光を物体に照射し、その戻り光と参照光との干渉光を生成し、生成された干渉光を検出する干渉光学系を備えている。光干渉計測装置は、光路分割部材と、第1参照光路長変更部と、校正量算出部と、データ生成部とを含む。光路分割部材は、参照光を第1参照光路及び第2参照光路に導く。第1参照光路長変更部は、第1参照光路及び第2参照光路の少なくとも一方である可変参照光路の長さを変更する。校正量算出部は、可変参照光路の長さが変更された後に生成された第1検出データと、可変参照光路の長さが変更される前に生成された第2検出データとに基づいて、光源に関する校正量を求める。データ生成部は、干渉光の検出結果と校正量とに基づいて、物体に関するデータを生成する。【選択図】図2
