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기판 이송 장치
专利权人:
KIM; DONG MYUNG
发明人:
KIM, DONG MYUNG,김동명
申请号:
KR1020180020878
公开号:
KR1018721800000B1
申请日:
2018.02.22
申请国别(地区):
KR
年份:
2018
代理人:
摘要:
The present invention relates to a substrate transport apparatus and, more specifically, to a substrate transport apparatus which minimizes damage to a transported substrate. An objective of the present invention is to minimize damage to a substrate transported by rotation of rollers arranged on two adjacent rotary shafts by arranging the rollers in zigzags by misaligning the rollers. The substrate transport apparatus transports a substrate, and comprises: a frame having an opening formed on a wall of one side thereof and a grove formed on a wall of the other side thereof a plurality of rotary shafts wherein one end thereof is mounted on the opening and the other end thereof is inserted into the groove to be rotatably supported a fixing unit coupled to the opening to fix one end of the rotary shafts and a plurality of first rollers arranged on the rotary shafts and separated from each other. The first rollers arranged on two adjacent rotary shafts are arranged in zigzags by being misaligned. The substrate transport apparatus further comprises: an insertion passage unit which has an open hole into which the substrate is inserted to pass, and is arranged between two arbitrary rotary shafts in a direction parallel with the rotary shafts a lower plate which has a hole and is coupled to a lower portion of the frame a suction pipe which is inserted into the hole, and sucks a fluid by a suction force provided by a suction unit and an upper plate which has a handle, and is coupled to an upper portion of the frame.본 발명은 기판 이송 장치에 대한 것으로, 자세하게는 이송되는 기판의 손상을 최소화하는 기판 이송 장치에 대한 것이다.본 발명의 목적은 인접하는 두 회전축 각각에 배치되는 롤러는 엇갈려서 지그재그 형상으로 배치되어 롤러의 회전에 따라 이송되는 기판의 손상을 최소화하여 기판을 이송하는 것이다.기판 이송 장치는 기판을 이송하는 기판 이송 장치는, 일측벽에 개구가 형성되고, 타측벽에 홈이 형성된 프레임 일단이 상기 개구에 거치되고, 타단이 상기 홈에 삽입되어 회전 가능하게 지지되는 복수의 회전축 상기 개구에 결합되어 상기 회전축 일단을 고정하는 고정부 및 상기 회전축에 복수가 이격되어 배치되는 제 1 롤러를 포함하되, 인접하는 두 회전축 각각에 배치되는 제 1 롤러는 엇갈려서 지그재그 형상으로 배치되는 것을 특징으로 하고, 상기 기판이 삽입되어 통과하는 공혈이 형성되고, 상기 회전축과 평행한 방향으로 임의의 두 회전축 사이에 배치되는
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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