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プラズマ発生装置
专利权人:
SAMSUNG YOKOHAMA RESEARCH INSTITUTE
发明人:
TAKENOSHITA, Kazutoshi,竹之下 一利
申请号:
JPJP2012/076144
公开号:
WO2013/051730A1
申请日:
2012.10.09
申请国别(地区):
WO
年份:
2013
代理人:
摘要:
The present invention provides a plasma generation device (100) that not only increases the generation amount of active species, but also improves safety and is hardly affected by humidity changes. The plasma generation device (100) comprises: a plasma electrode unit (2) configured so that fluid circulation holes (21b, 22b) are provided at positions corresponding to each other in a pair of electrodes (21, 22) and pass therethrough a power supply circuit unit (51) for applying voltage between the pair of electrodes (21, 22) and a circuit control unit (52) for controlling the power supply circuit unit (51). The power supply circuit unit (51) has a transformer (511) for boosting an input voltage and outputting the boosted voltage and a switching element (512) provided in a primary winding (511a) of the transformer (511) and shaping a voltage waveform across the primary winding (511a) into a pulse waveform. The circuit control unit (52) inputs an on/off signal to the switching element (512) and thereby adjusts the peak value and pulse width of the output voltage across a secondary winding (511b) of the transformer (511).La présente invention porte sur un dispositif de génération de plasma (100) qui non seulement augmente la quantité de génération despèces actives, mais en outre améliore la sécurité et nest guère sensible à des variations dhumidité. Le dispositif de génération de plasma (100) comprend : une unité délectrodes de plasma (2) configurée de telle manière que des trous de circulation de fluide (21b, 22b) sont placés à des positions qui se correspondent mutuellement dans une paire délectrodes (21, 22) et passent à travers une unité de circuit dalimentation électrique (51) pour appliquer une tension entre les deux électrodes (21, 22) et une unité de commande de circuit (52) pour commander lunité de circuit dalimentation électrique (51). Lunité de circuit dalimentation électrique (51) comprend un transformateur (511) pour survolter une tension dentrée et délivr
来源网站:
中国工程科技知识中心
来源网址:
http://www.ckcest.cn/home/

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