一种柔性传感器及其制备方法
- 专利权人:
- 中国科学院微电子研究所
- 发明人:
- 唐思琪,张青竹,张兆浩,张楠,魏千惠,张静,闫江,王文武
- 申请号：
- CN202010403586.1
- 公开号：
- CN111704101A
- 申请日:
- 2020.05.13
- 申请国别(地区):
- CN
- 年份:
- 2020
- 代理人:
- 摘要：
- 本发明公开一种柔性传感器及其制备方法，涉及柔性传感器领域，以解决柔性传感器形变不够、灵敏度低和一致性低的问题。所述柔性传感器包括：柔性基底以及形成在所述柔性基底上的纳米线阵列；所述纳米线阵列为聚二甲基硅氧烷转移法转移的纳米线阵列。所述柔性传感器制备方法包括上述技术方案所提的。本发明提供的柔性传感器用于检测信号。
- 来源网站：
- 中国工程科技知识中心
