A sterilization method of vaporizing a sterilizing agent supplied to a depressurized room to generate a sterilizing gas and sterilizing an object to be sterilized by using the sterilizing gas is (a) a first step of depressurizing the room to a predetermined pressure. And (b) a second step of injecting the sterilant into the room to generate a sterilizing gas after the first step, and the second step includes (b1) a predetermined amount of the sterilant in the room. A first sub-step of injecting into the chamber to generate a sterilizing gas, (b2) a second sub-step of waiting until a predetermined condition is satisfied after the first sub-step, and (b3) the first It has a sub-step and a third sub-step in which the second sub-step is repeated a predetermined number of times.減圧された部屋に供給された滅菌剤を気化させて滅菌ガスを生成し、前記滅菌ガスを用いて滅菌対象を滅菌する滅菌方法は、（ａ）前記部屋を所定の圧力まで減圧する第１ステップと、（ｂ）前記第１ステップの後に前記滅菌剤を前記部屋に注入して滅菌ガスを生成する第２ステップを有し、前記第２ステップは、（ｂ１）所定量の滅菌剤を前記部屋に注入して滅菌ガスを生成する第１サブステップと、（ｂ２）前記第１サブステップの後に、予め決められた条件が満足されるまで待機する第２サブステップと、（ｂ３）前記第１サブステップと前記第２サブステップを所定回数繰り返す第３サブステップとを有する。
