The sterilization method is a method of sterilizing an object to be sterilized contained in a chamber (11), and first steam injection for injecting steam generated from a first aqueous solution of hydrogen peroxide into the chamber (11). After the step (S104) and the first vapor injection step (S104), an ozone injection step (S107) of injecting ozone gas into the chamber (11) and a step of the chamber (11) after the ozone injection step (S107). A second steam injection step (S109) of injecting steam generated from pure water or steam generated from a second aqueous solution of hydrogen peroxide is included therein. 滅菌方法は、チャンバー（１１）に収容された滅菌対象物を滅菌する方法であって、チャンバー（１１）の内部に、過酸化水素の第１水溶液から生成された蒸気を注入する第１蒸気注入工程（Ｓ１０４）と、第１蒸気注入工程（Ｓ１０４）の後に、チャンバー（１１）の内部にオゾンガスを注入するオゾン注入工程（Ｓ１０７）と、オゾン注入工程（Ｓ１０７）の後に、チャンバー（１１）の内部に、純水から生成された蒸気又は過酸化水素の第２水溶液から生成された蒸気を注入する第２蒸気注入工程（Ｓ１０９）とを含む。
