SOLUTION: A steam generator 1 includes a cylindrical evaporation chamber 5, and a top face of a bottom portion 5B in the evaporation chamber 5 is a heating face 5A. A glass filter 17 of a prescribed thickness is disposed on the heating face 5A, and a lower end opening portion 7A of a nozzle 7 is disposed at an upper side in the vicinity thereof. The heating face 5A and the glass filter 17 are heated to a prescribed temperature by a heater not shown in drawing, and in this state, a decontamination liquid L (hydrogen peroxide solution) is discharged from the lower end opening portion 7A of the nozzle 7. As the decontamination liquid L is heated while penetrating in the glass filer 17 toward the heating face 5A, the decontamination liquid L is gradually evaporated from the top face 17A of the glass filter 17, and a decontamination gas G (hydrogen peroxide steam) is generated.EFFECT: Concentration of a decontamination gas G generated in an evaporation chamber 5 can be stabilized even under a condition that a time interval of discharging a decontamination liquid L is long.SELECTED DRAWING: Figure 2COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【解決手段】 蒸気発生装置1は円筒状の蒸発室5を備えており、この蒸発室5内の底部5Bの上面が加熱面5Aとなっている。加熱面5Aには所定厚さのガラスフィルター17が配置されており、その近接上方側にノズル7の下端開口部7Aが位置している。 加熱面5Aとガラスフィルター17は、図示しないヒーターにより所定温度に加熱されており、その状態において除染液体L(過酸化水素水溶液)がノズル7の下端開口部7Aから吐出される。すると、除染液体Lはガラスフィルター17内を加熱面5Aに向けて浸透しながら加熱されるので、ガラスフィルター17の上面17Aから除染液体Lが徐々に蒸発して除染ガスG(過酸化水素蒸気)が発生する。【効果】 除染液体Lを吐出させる時間間隔が長くなる条件であっても、蒸発室5内で発生する除染ガスGの濃度を安定させることができる。【選択図】 図2
