PROBLEM TO BE SOLVED: To provide an electron beam irradiator which allows a window foil to be easily replaced even when the window foil is exposed to a high temperature environment.SOLUTION: An electron beam irradiator can apply electron beams B to the outside of a vacuum chamber via an electron beam irradiation window 4 from an electron beam source surrounded by the vacuum chamber. The electron beam irradiation window 4 includes: a grid 6 a window foil 9 capable of transmitting the electron beams B and a frame-like pressing member 10 for pressing the window foil 9 with the grid 6. An annular groove part 81 is provided on a surface of the grid 6. A metal gasket 11 is pressed between the groove part 81 and the window foil 9.SELECTED DRAWING: Figure 3COPYRIGHT: (C)2018,JPO&INPIT【課題】高温環境下に曝される場合であっても、窓箔を容易に交換可能とすることを目的とする。【解決手段】真空チャンバで囲われた電子線発生源から電子線照射窓4を介して真空チャンバの外部へ電子線Bを照射可能な電子線照射装置である。電子線照射窓4は、グリッド6と、電子線が透過可能な窓箔9と、グリッド6との間で窓箔9を押える枠状の押え部材10と、を有する。グリッド6の表面には、環状の溝部81が設けられており、溝部81と窓箔9との間で金属製のガスケット11が押えられている。【選択図】図3
