PROBLEM TO BE SOLVED: To always monitor a non-target ion different from a target ion, out of the ions in a vacuum vessel, in an ion source using laser.SOLUTION: A laser ablation plasma generator 27 generates laser ablation plasma 4 from a target 2 containing the element in a vacuum vessel 1. An ion beam extraction unit 18 generates an ion beam 5 by extracting ions, contained in the laser ablation plasma 4, from the vacuum vessel 1. An ion detector 9 detects a non-target ion different from a target ion, produced by ionization of an element, out of the ions in the vacuum vessel 1. As a detection result, a detection signal 14 indicating the number of non-target ions, or the value of mixture ratio of the non-target ions to the target ions is output.COPYRIGHT: (C)2013,JPO&INPIT【課題】レーザを用いたイオン源において、真空容器内のイオンのうちの目的イオンとは異なる目的外イオンを常時監視する。【解決手段】レーザアブレーションプラズマ発生装置27は、真空容器1内の元素を含むターゲット2からレーザアブレーションプラズマ4を発生させる。イオンビーム引き出し部18は、レーザアブレーションプラズマ4に含まれるイオンを真空容器1内から引き出すことによりイオンビーム5を生成する。イオン検出器9は、真空容器1内のイオンのうちの、元素がイオン化された目的イオンとは異なる目的外イオンを検出し、検出結果として目的外イオンの数、または、目的イオンに対する目的外イオンの混合比である値を表す検出信号14を出力する。【選択図】図1
