Disclosed is a transducer array 10 comprising a plurality of CMUT cells 100, 100 ′, 100 ″ each having a first electrode 110 supported by a substrate 101 and a second electrode 120 supported by a film body. The body is suspended on the cavity 105 between the first electrode and the second electrode, and the plurality of CMUT cells includes a first group of CMUT cells 100 each having a film body with a first stack 130. A second group of CMUT cells 100 ′ each having a film body with a second stack 130 ′, the second stack of materials having a higher density than any of the layers in the first stack. A layer 135. An apparatus having such a transducer array, an ultrasound imaging system comprising such a transducer array, and a method of operating such an ultrasound imaging system It is also disclosed.各々が基板１０１により支持された第１電極１１０及び膜体により支持された第２電極１２０を有する複数のＣＭＵＴセル１００，１００’，１００”を備えたトランスジューサアレイ１０が開示されている。前記膜体は第１電極と該第２電極との間の空洞１０５上に懸架される。複数のＣＭＵＴセルは、各々が第１積層部１３０を備えた膜体を有する第１グループのＣＭＵＴセル１００と、各々が第２積層部１３０’を備えた膜体を有する第２グループのＣＭＵＴセル１００’とを有し、第２積層部は第１積層部における層の何れよりも高い密度を持つ材料の層１３５を含む。このようなトランスジューサアレイを有する装置、このようなトランスジューサアレイを含む超音波撮像システム、及び斯様な超音波撮像システムを動作させる方法も開示されている。
